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镀膜材料-金属
Ti、Al、Ni、Au、Ag、Cr、Pt、Cu、TiW90、Pd、Zn、Mo、W、Ta 、Nb等
镀膜材料-非金属
Si、SiO2、SiNx、Al2O3、HFO2、MgF2、ITO、Ta2O5等
镀膜材料
硅片、石英玻璃片、蓝宝石片、PET、Pi等
镀膜技术
电子束蒸发、磁控溅射、LPCVD、PECVD、ALD原子层沉积、电镀等
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